Opis

Spektroskopia rentgenowska z dyspersją energetyczną (ang. Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) - EDX wykorzystuje charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie emitowane z próbki pod wpływem bombardowania wysokoenergetyczną wiązką elektronów. Metoda ta umożliwia niezwykle szybką analizę składu pierwiastkowego w ciałach stałych, w szczególności półprzewodnikach (również szerokoprzerwowych) oraz materiałach półizolujących. Integracja ze skaningowym mikroskopem elektronowym wysokiej rozdzielczości umożliwia badania korelacji morfologii powierzchni z mapami rozkładu pierwiastków.

Analiza EDX umożliwia:

• Analizę jakościową i ilościową składu pierwiastkowego – widma zbierane z wybranego punktu, wzdłuż zadanej linii lub obszaru na próbce

• Badania rozkładu pierwiastków w próbce w postaci map sprzężonych z obrazem mikroskopowym

Parametry

• Identyfikowane pierwiastki: cięższe niż Be

• Rozdzielczość energetyczna: 130 eV (FWHM) –  Mn Kα

• Limit detekcji: 0.1– 0.3 %

• Rozdzielczość przestrzenna – małe Z: 1-5 µm³, wysokie Z: 0.2 – 1 µm³

• Maksymalna średnica próbki: 5 cali

• Detektor Thermo Scientific UltraDry SDD i systemem do analiz Noran System 7 zintegrowany ze skaningowym mikroskopem elektronowym Hitachi SU-70