Aktualności
Warsztaty z cyklu "Transfer Technologii – aspekty IPR – środowisko"
16-17 marca 2018, Jachranka
CTT IFPAN
Centrum Transferu Technologii
Instytutu Fizyki PAN
Charakteryzacja - Pomiary składu i dystrybucji pierwiastków EDX

Opis

Spektroskopia rentgenowska z dyspersją energetyczną (ang. Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) - EDX wykorzystuje charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie emitowane z próbki pod wpływem bombardowania wysokoenergetyczną wiązką elektronów. Metoda ta umożliwia niezwykle szybką analizę składu pierwiastkowego w ciałach stałych, w szczególności półprzewodnikach (również szerokoprzerwowych) oraz materiałach półizolujących. Integracja ze skaningowym mikroskopem elektronowym wysokiej rozdzielczości umożliwia badania korelacji morfologii powierzchni z mapami rozkładu pierwiastków.

 

Analiza EDX umożliwia:

  • Analizę jakościową i ilościową składu pierwiastkowego – widma zbierane z wybranego punktu, wzdłuż zadanej linii lub obszaru na próbce

  • Badania rozkładu pierwiastków w próbce w postaci map sprzężonych z obrazem mikroskopowym

 

Parametry

  • Identyfikowane pierwiastki: cięższe niż Be

  • Rozdzielczość energetyczna: 130 eV (FWHM) –  Mn Kα

  • Limit detekcji: 0.1– 0.3 %

  • Rozdzielczość przestrzenna – małe Z: 1-5 µm3, wysokie Z: 0.2 – 1 µm3

  • Maksymalna średnica próbki: 5 cali

  • Detektor Thermo Scientific UltraDry SDD i systemem do analiz Noran System 7 zintegrowany ze skaningowym mikroskopem elektronowym Hitachi SU-70

Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU-70.

Skan liniowy wielowarstwowej próbki CdPbTe.

Mapy rozkładu pierwsiatków.


Osoby do kontaktu: prof. Bogdan Kowalski, e-mail: kowab@ifpan.edu.pl, tel: (+48) 22 116 33 16
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk, Aleja Lotników 32/46, 02-668 Warszawa
tel.: (+48) 22 843 70 01 | fax: (+48) 22 843 09 26 | www.ifpan.edu.pl
NIP: 525-000-92-75, Regon: 000326061