Przewodzące warstwy tlenku cynku domieszkowanego glinem (ZnO:Al) są osadzane metodą osadzania warstw atomowych (ALD) na dowolnych podłożach, w optymalnej temperaturze do 200 oC zapewniającej bardzo niskie oporności właściwe. Przewodzące warstwy ZnO:Al otrzymane techniką ALD charakteryzują się wysoką transmisją optyczną w przedziale widzialnym. takie warstwy mogą znależć liczne zastosowania w elektronice, optoelektronice i fotowoltaice.
Oporność warstw ZnO:Al o grubości 200 nm, osadzonych na szkle metodą ALD, w zależności od zawartości glinu (w % at.) |
Transmisja optyczna warstw ZnO:Al o różnych grubościach otrzymanych na szkle metodą ALD |