Przewodzące warstwy tlenku cynku są wytwarzane metodą osadzania warstw atomowych (ALD) na dowolnych podłożach, w temperaturze do 200 oC zapewniającej optymalne parametry elektryczne (niskie oporności właściwe) oraz metaliczne przewodnictwo w temperaturze pokojowej. Przewodzące warstwy ZnO otrzymane techniką ALD charakteryzują się wysoką transmisja optyczną w przedziale widzialnym. Tym samym mogą znależć liczne zastosowania jako przezroczyste elektrody w przyrządach elektronicznych, fotowoltaicznych i optoelektronicznych.
![]() Transmisja optyczna 200-nm przewodzących warstw ZnO osadzonych na szkle metodą ALD |
![]() Oporność właściwa 200-nm warstw ZnO otrzymanych metodą ALD w różnych temperaturach wzrostu |