Aktualności
Fizyka przed Wyzwaniami Cywlizacyjnymi

17 stycznia 2019,
Instytut Fizyki PAN
CTT IFPAN
Centrum Transferu Technologii
Instytutu Fizyki PAN
Charakteryzacja - Skaningowa Mikroskopia Elektronowa (SEM)

Opis

Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) o wysokiej zdolności rozdzielczej (1nm) Hitachi SU-70 przeznaczony jest do badań morfologii i właściwości ciał stałych, w szczególności półprzewodników (również szerokoprzerwowych) oraz materiałów półizolujących. Mikroskop posiada dwa detektory elektronów wtórnych (SE) oraz detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), który pozwala obrazować kontrast atomowy i różnice gęstości materiału z niezwykłą czułością. Mikroskop jest dodatkowo wyposażony w detektor promieniowania charakterystycznego EDX oraz układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3. Dzięki takiemu sprzężeniu układ doskonale nadaje się do kompleksowych badań korelacji między mikrostrukturą, składem chemicznym i właściwościami optycznymi.

 

Parametry

  • Źródło elektronów z emisją polową (typu Schottkyego)
  • Dwa detektory elektronów wtórnych (SE): górny tzw. "in lens", oraz dolny podkreślający topografię
  • Detektor półprzewodnikowy elektronów rozproszonych wstecznie (BSE) umożliwiający obrazowanie z kontrastem  składu chemicznego i różnicą gęstośi materiału
  • Tryb STEM umożliwiający obrazowanie w trybie mikroskopii transmisyjnej jasnego i ciemnego pola.
  • Napięcia przyspieszające (AV): 0,5 - 30 kV
  • Prąd wiązki: pA – zdjęcia, nA – analizy
  • Maksymalna wielkość średnicy podłoża: 5 cali
  • Nominalna rozdzielczość obrazu: 0,8 nm
  • Dodatkowy detektor EDX
  • Układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3

 

Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU-70.

Przykładowe zdjęcia powierzchni z mikroskopu SEM.

Przykładowe zdjęcia SEM nanowłókien ZnO po serii wygrzewań.


Osoby do kontaktu: prof. Bogdan Kowalski, e-mail: kowab@ifpan.edu.pl, tel: (+48) 22 116 33 16
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk, Aleja Lotników 32/46, 02-668 Warszawa
tel.: (+48) 22 843 70 01 | fax: (+48) 22 843 09 26 | www.ifpan.edu.pl
NIP: 525-000-92-75, Regon: 000326061