Opis

Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) o wysokiej zdolności rozdzielczej (1nm) Hitachi SU-70 przeznaczony jest do badań morfologii i właściwości ciał stałych, w szczególności półprzewodników (również szerokoprzerwowych) oraz materiałów półizolujących. Mikroskop posiada dwa detektory elektronów wtórnych (SE) oraz detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), który pozwala obrazować kontrast atomowy i różnice gęstości materiału z niezwykłą czułością. Mikroskop jest dodatkowo wyposażony w detektor promieniowania charakterystycznego EDX oraz układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3. Dzięki takiemu sprzężeniu układ doskonale nadaje się do kompleksowych badań korelacji między mikrostrukturą, składem chemicznym i właściwościami optycznymi.

Parametry

• Źródło elektronów z emisją polową (typu Schottkyego)
• Dwa detektory elektronów wtórnych (SE): górny tzw. "in lens", oraz dolny podkreślający topografię
• Detektor półprzewodnikowy elektronów rozproszonych wstecznie (BSE) umożliwiający obrazowanie z kontrastem  składu chemicznego i różnicą gęstośi materiału
• Tryb STEM umożliwiający obrazowanie w trybie mikroskopii transmisyjnej jasnego i ciemnego pola.
• Napięcia przyspieszające (AV): 0,5 - 30 kV
• Prąd wiązki: pA – zdjęcia, nA – analizy
• Maksymalna wielkość średnicy podłoża: 5 cali
• Nominalna rozdzielczość obrazu: 0,8 nm
• Dodatkowy detektor EDX
• Układ do katodoluminescencji GATAN Mono CL3